Все книги автора Ю. А. Родионов
        Найдено 4 книг
    
     
                    
            
        
        Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем....
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных мик...
 
                    
            
        
        Производство гибридных интегральных схем
Производство гибридных интегральных схем
Рассмотрены особенности изготовления гибридных интегральных схем: диэлектрическая подложка на основе...
 
                    
            
        
        Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное вни...
 
                    
            
        
        Основы микросенсорики
Основы микросенсорики
Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точна...